제목 |
[특허 제 10-1073379호] 기판안치부의 상,하 이동이 가능한 초임계유체를 사용하는 기판 처리장치 |
작성자 |
일신오토클레이브 (ip:) |
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작성일 2021-08-12
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추천
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조회수 234
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평점 |
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등록일자 | 등록번호 | 특허 간략소개 | PDF |
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2011.10.07 | 특허 제 10-0943313호 | 기판안치부의 상, 하 이동이 가능한 초임계 유체를 사용하는 기판 처리장치 | PDF 자세히보기 |
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첨부파일 |
10-1073379.jpg |
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